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高山理化精機の最新情報をお届けいたします。

日立ハイテクノロジーズ ナノ3D光干渉計測システム

− 解析ツール・計測技術により表面形状の三次元測定を支援 −

日立ハイテクサイエンスは、ナノ3D光干渉計測システム「VS1800」の販売を開始しました。
本製品は、光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、
自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。
また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。

<主な特長>

【 1. 高い測定性能 】
光干渉方式による広い計測視野、0.01 nmの垂直分解能、高い測定再現性のほか、
日立ハイテクサイエンスの独自技術による多層膜の非破壊計測など、従来製品の
高い計測性能を継承しています。

【 2. 使いやすいインターフェース 】
直観的に操作可能なインターフェースを採用することで、画像解析処理前後の画像
比較を容易に行うことができ、分析時の最適な画像処理選択をサポート。
また処理や解析内容のリスト化、独自解析レシピの作成、解析レシピの繰り返し
使用などが簡単に行え、かつ大量データの一括処理が可能なため、複数のサンプルや
解析結果を一元管理し、手間のかかる後処理を軽減します。

【 3. ISO 25178パラメータ比較ツール 】
複数の試料を比較する際、ISO 25178で定められた32項目のパラメータ値を差異の
大きい順に並び変えることで、試料の比較に最適なパラメータ選択を容易にし、
お客様の解析業務のサポートを実施します。

【 4. ハードウェアアップグレード 】
XYステージの駆動方法ごとに、ベースモデルである手動タイプのType1、電動タイプの
ype2・Type3の3機種をラインアップ。Type1からType2・Type3へ、用途に合わせた
アップグレードが可能です。

詳細はこちらをご確認ください。
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